国家/地区 韩国(6)
IPC部 H(5) C(4) G(2)
IPC大类 C01(4) H01(4) G01(2)
IPC小类 C01B(4) G01N(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(3)
发明人 CHOI C G(3) CHOI H K(3) CHOI J S(3)
CHUNG K H(3) KIM J T(3) YU Y J(3)
公开年 2016(6)
申请年 2016(3)  2014(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(6)