国家/地区 台湾(5)
IPC部 H(3) C(2) G(2)
IPC大类 H01(3) G01(2)
IPC小类 G01N(2) H01L(2)
IPC G01N033/543(2) H01L021/288(2)
发明人 CHEN C(5)
公开年 2016(5)
申请年 2014(2)  2015(2) 
专利权人