国家/地区 欧洲专利局(EPO)(9) 世界知识产权组织(8) 美国(4) 中国(2) 越南(2)
IPC部 H(7) G(5)
IPC大类 H01(6) G01(4)
IPC小类 H01L(6) G01T(2)
IPC H01L031/112(4) H01L031/028(3) H01L031/0352(3)
G01T001/20(2) H01L027/146(2) H01L029/16(2)
H01L031/0203(2) H01L031/0224(2) H01L031/0232(2)
H01L031/18(2)
发明人 ALLEN M(5) HARRIS N(3) WHITE R(3)
公开年 2017(9)
申请年 2016(5)  2015(4) 
专利权人 NOKIA TECHNOLOGIES OY(9)