国家/地区 台湾(4) 美国(4) 中国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 B32(2) C01(2) C23(2)
H01(2)
IPC小类 B32B(2) C01B(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC C01B032/182(2)
发明人 CHANG C(5)
公开年 2021(5)
申请年 2021(3) 
专利权人