国家/地区 | 台湾(4) 美国(4) 中国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
B32(2)
C01(2)
C23(2)
H01(2) |
IPC小类 |
B32B(2)
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2) |
IPC | C01B032/182(2) |
发明人 |
CHANG C(5)![]() |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2021(3) |
专利权人 |
THOMPSON M, WONGPIYA R, CHANG C
GIBBS G C, COOK D, VANHEUSDEN K, CHMIOLA J, LIM S H, LANNING B, STOWELL M W, GHEZELBASH H, CHANG C, KUMAR A, SINGH S, VANHUESDEN K
CHEN C, CHANG C, LEE Y, LIU W D, WINDOW C, LEE W, LU W, LIU W, LI Y, ZHANG Z, CHEN Z