国家/地区 加拿大(3) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 澳大利亚(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/04(3)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(2) 
专利权人