国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) A61(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B032/23(4)
发明人 OGUNI T(2)
公开年 2021(4)
申请年 2020(2)  2021(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)