国家/地区 英国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B032/186(4) C23C016/26(4) C23C016/02(2)
C23C016/40(2) C23C016/455(2) C30B025/18(2)
C30B029/02(2) H01L021/02(2)
发明人 DIXON S(4) GUINEY I(4) GRIFFIN R M(3)
THOMAS S(3) BADCOCK T J(2)
公开年 2022(4)
申请年 2022(3) 
专利权人 PARAGRAF LTD(4)