国家/地区 |
英国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 | C23C(3) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(2)
C23C016/455(2)
H01L021/02(2)
|
发明人 |
DIXON S(2)
GUINEY I(2)
THOMAS S(2)
|
公开年 |
2022(3)![]() |
申请年 |
2021(3)![]() |
专利权人 | PARAGRAF LTD(3) |
GRIFFIN R M, THOMAS S, GUINEY I, DIXON S
GUINEY I, THOMAS S, TYLER M, GLASS H, WALLIS R