国家/地区 英国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) H01L(2)
IPC C23C016/26(2) C23C016/455(2) H01L021/02(2)
发明人 DIXON S(2) GUINEY I(2) THOMAS S(2)
公开年 2022(3)
申请年 2021(3)
专利权人 PARAGRAF LTD(3)