国家/地区 中国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) C30B(4) C01B(3)
H01L(2)
IPC C30B029/02(4)
发明人
公开年 2023(4)
申请年 2021(3) 
专利权人