国家/地区 韩国(5) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 H01(4) C01(3) C23(3)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) H01L(3)
IPC H01L021/285(3) H01L021/768(3) C01B032/186(2)
C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人 LEE C(5)
公开年 2023(5)
申请年 2022(5)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)