国家/地区 | 中国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C01B032/186(3)
C23C016/26(3)
C30B029/02(3)
C23C016/02(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2023(4)![]() |
申请年 | 2021(2) 2022(2) |
专利权人 |
ZHAO Y, YU X, LIU Z, NIE X, SONG Z, DENG J, HE X