国家/地区 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/26(3) C01B032/186(2) C23C016/02(2)
H01J037/32(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2023(4)
申请年 2021(2)  2022(2) 
专利权人