国家/地区 | |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)![]() |
IPC |
C01B032/186(2)
C23C016/02(2)
C23C016/26(2)
C30B029/02(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2023(3)![]() |
申请年 |
2021(3)![]() |
专利权人 |
SHRIVASTAVA M, KHANEJA M, MEERSHA A