国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C30(3)
IPC小类 C30B(3)
IPC H01L021/20(3) H01L033/00(3) C30B025/04(2)
C30B025/18(2) H01L021/02(2) H01L021/205(2)
H01L021/36(2)
发明人 WEI Y(3)
公开年 2013(3)
申请年 2012(3)
专利权人 HON HAI PREC.(3) HONGFUJIN PR.(3) UNIV TSINGHU.(3)