国家/地区 中国(8)
IPC部 B(5) H(5) C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) B01(3)
C23(3) H05(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(3) B01J(2)
H01L(2) H05B(2)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(4) B01J019/18(2)
C23C016/26(2)
发明人 MOON J(6) JUNG M(5) CHOI M(3)
KIM T(3) KIM T H(3)
公开年 2014(8)
申请年 2013(4)  2014(4) 
专利权人 LG ELECTRONICS INC(8)