国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 | C(3) H(2) |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)
C30B(2)
H01L(2)
|
IPC |
C23C014/18(3)![]() |
发明人 |
PENG J(3)![]() |
公开年 | 2020(3) |
申请年 | 2020(3) |
专利权人 | UNIV NAT DEF.(3) |
PAN M, PENG J, HU Y, LI P, QIU W, HU J, CHEN D
PAN M, QIU W, HU J, LI P, PENG J, HU Y, ZHANG Q