国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C014/18(3)
发明人 PENG J(3)
公开年 2020(3)
申请年 2020(3) 
专利权人 UNIV NAT DEF.(3)