国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B031/02(3) C01B031/04(3) G02F001/1343(3) B32B009/00(2) B32B009/04(2) C01B031/00(2) H01B001/04(2) H01B005/00(2) H01L031/0224(2) |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S
KWON S, PARK K, YOON E, KWAK J, KWON S Y, YOON U
KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J