国家/地区 中国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B32(6)
IPC小类 B32B(6)
IPC C23C016/26(5) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C01B031/02(3) C01B031/04(3) G02F001/1343(3)
B32B009/00(2) B32B009/04(2) C01B031/00(2)
H01B001/04(2) H01B005/00(2) H01L031/0224(2)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2013(2) 
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J