国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) B32(3) B82(3)
H01(3)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(4) H01J037/20(3) H01J009/00(2)
H01J037/26(2)
发明人 ZHANG L(4)
公开年 2011(4)
申请年 2010(3) 
专利权人 HON HAI PREC.(3) HONGFUJIN PR.(3) UNIV TSINGHU.(3)