| 国家/地区 |
中国(3)
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| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C04(3)
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| IPC小类 |
C04B(3)
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| IPC | C23C024/10(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 |
2020(3)
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| 专利权人 |
LU Y, YANG X, BI C, ZHANG J, LI D, NING T, SUN F, YANG Y, CAO B
