国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C09(5)![]() |
IPC小类 |
C09D(5)![]() |
IPC | C09D007/65(2) G03F007/004(2) |
发明人 | |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2021(4) |
专利权人 |
YANG H, LIU J, LIU Z, CAO F
ZHOU Y, LI Z, WANG M, GAO X, CUI K
FENG G, LIN Y, XIAO L, YE H