国家/地区 德国(19)
IPC部 H(7) B(6) C(6)
G(5) A(2) F(2)
IPC大类 H01(5) B32(3) C23(3)
G01(3) A61(2) B29(2)
C01(2)
IPC小类 B32B(3) C23C(3) H01M(3)
A61L(2) C01B(2)
IPC B32B005/26(2) B32B005/28(2) B32B009/00(2)
B32B027/04(2) B32B033/00(2) C23C016/26(2)
C23C016/44(2) H01M008/0206(2)
发明人 CONRAN B R(2) MCALEESE C(2) TEO K B K(2)
WILKEN R(2)
公开年 2022(19)
申请年 2020(19)
专利权人 AIXTRON SE(2) GM GLOBAL TE.(2) VEGA GRIESHA.(2)