国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) H01(5) C01(3)
IPC小类 C23C(5) C01B(3) H01L(3)
H01M(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2022(3) 2021(2)
申请年 2021(5)
专利权人