国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
B82Y(3)
C01B(3)
H01L(3) B01J(2) B05D(2) B22F(2) C08K(2) C09D(2) C25D(2) H01M(2) |
IPC |
C23C018/12(5)![]() |
发明人 | GABEN F(2) |
公开年 | 2021(3) |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 |
WIETELMANN U, DAWIDOWSKI D, DIRK D
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E