国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC | C23C016/44(2) |
发明人 | |
公开年 | 2022(2) |
申请年 |
2021(3)![]() |
专利权人 |
PARK G O, YOO S K, CHUNG J H, ZHENG Z, YU S, PARK G
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K