国家/地区 欧洲专利局(EPO)(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B05(4)
IPC小类 B05D(4)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) B05D005/12(2)
C01B031/02(2) C01B032/194(2) C23C016/56(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人