国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC H01L021/02(4) B82Y030/00(3) C01B032/194(3)
C23C016/26(3) C23C016/56(3) B01J035/00(2)
B01J037/02(2) B05D005/12(2) B22F001/02(2)
B82Y040/00(2) C01B031/04(2) C23C002/00(2)
C23C018/12(2) C23C028/00(2) C25D013/02(2)
发明人 GABEN F(2)
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人