国家/地区 法国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) B82Y(4) H01L(3)
B01J(2) C23C(2)
IPC C01B032/184(5)
发明人 ZENASNI A(2)
公开年 2013(2)
申请年 2011(2) 
专利权人 CENT NAT REC.(2) CNRS CENT NA.(2) COMMISSARIAT.(2)