国家/地区 法国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 B01J(6)
IPC B82Y030/00(6) B82Y040/00(5) C01B031/04(5)
C01B031/02(4) C23C016/26(3) B01J023/76(2)
C01B032/184(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2)
发明人 BACSA R(2) SERP P(2)
公开年 2013(2)
申请年 2010(2)  2011(2) 
专利权人 CENT NAT REC.(4) INST NAT POL.(2)