国家/地区 日本(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) H01(4) B05(2)
B32(2) B82(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(3) B05D003/02(2)
C01B031/00(2) H01L021/28(2) H01L021/3205(2)
H01L023/52(2) H01L029/06(2)
发明人
公开年 2010(6)
申请年 2008(6)
专利权人 DOKURITSU GY.(2)