国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(5) C30B029/02(5) C01B031/04(3)
C23C016/26(2) C30B025/02(2)
发明人
公开年 2014(5)
申请年 2013(3)  2012(2) 
专利权人