国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L029/16(2) H01L029/167(2) H01L029/66(2)
发明人 HAM M H(2)
公开年 2018(5)
申请年 2017(3) 
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(5)