国家/地区 中国(3)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/336(2) H01L021/768(2)
H01L023/532(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
H01L029/778(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人 SANDHU G S(3) SANDHU G(2)
公开年 2013(2)
申请年 2011(2) 
专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC(3)