| 国家/地区 |
日本(3)
|
| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C01(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C01B(2) |
| IPC |
H01L029/06(3)
C01B031/02(2)
C01B032/182(2)
H01L021/3205(2) H01L021/768(2) H01L023/532(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/786(2) |
| 发明人 | SATO S(3) |
| 公开年 |
2014(3)
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| 申请年 | 2014(2) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(3)
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SATO S, YAMADA A, YAGI K, TAKAHASHI M
YAMAGUCHI J, SATO S, YAMADA H, TANAKA K, YAMADA Y
