国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C04(4)
IPC小类 C04B(4) C23C(4) C01B(3)
B82Y(2) C03C(2) C30B(2)
H01L(2)
IPC C04B041/00(4)
发明人
公开年
申请年 2013(2) 
专利权人