国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5) C01(4) B82(3)
H01(3) B01(2) C30(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) B01J(2)
B82Y(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(5)
发明人
公开年 2014(3) 2015(2)
申请年 2014(5)
专利权人