国家/地区 韩国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(4)
B05(3) B32(3) B82(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/44(5)
发明人 CHOI J(2) CHOI J Y(2)
公开年 2011(5)
申请年 2010(4) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SUNGKYU.(2)