| 国家/地区 |
日本(4)
|
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
C01(4)
|
| IPC小类 |
C01B(4)
C30B(4)
C23C(3)
B82Y(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B032/15(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | 2015(2) |
| 专利权人 |
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
CASTRO A H, OZYILMAZ B, STIER A V, TOH C T, DU Z, CASTRO N A H
