国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4) C30B(4) C23C(3)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C01B032/15(4)
发明人
公开年
申请年 2015(2) 
专利权人