国家/地区 世界知识产权组织(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82Y(4)
IPC B82Y040/00(4) B82Y030/00(3) C01B032/184(3)
C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2022(3)
申请年 2022(4)
专利权人