国家/地区 世界知识产权组织(4)
IPC部 H(4) B(2) C(2)
IPC大类 H01(4) B82(2) C01(2)
C09(2)
IPC小类 H01L(4) B82Y(2) C01B(2)
IPC C01B031/02(2) H01L021/60(2)
发明人 KIM J(4)
公开年 2013(4)
申请年 2012(2) 
专利权人