国家/地区 中国(3) 日本(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 H(4) B(3) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C01B(2)
IPC H01L029/16(3) C01B031/04(2) H01L021/02(2)
H01L021/336(2) H01L023/532(2) H01L029/778(2)
H01L029/786(2)
发明人 KONDO D(3) SATO S(3)
公开年 2010(2)
申请年 2009(4)
专利权人 FUJITSU LTD(4)