| 国家/地区 | 中国(3) 日本(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
| IPC部 |
H(4)
B(3)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(3)
B82(2)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
B82Y(2)
C01B(2)
|
| IPC |
H01L029/16(3)
C01B031/04(2)
H01L021/02(2)
H01L021/336(2) H01L023/532(2) H01L029/778(2) H01L029/786(2) |
| 发明人 | KONDO D(3) SATO S(3) |
| 公开年 | 2010(2) |
| 申请年 |
2009(4)
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| 专利权人 |
FUJITSU LTD(4)
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