国家/地区 韩国(6)
IPC部 B(4) C(4) H(4)
IPC大类 B01(4) C01(4) C23(4)
H01(4)
IPC小类 B01J(4) C01B(4) C23C(4)
H01L(4)
IPC B01J019/08(4) C01B031/02(4) C23C016/26(4)
H01L021/268(2) H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 LEE K J(6)
公开年 2012(3) 2013(3)
申请年 2011(6)
专利权人 KOREA ADV IN.(5) KOREA ADVANC.(2)