国家/地区 韩国(17) 世界知识产权组织(5) 美国(4)
IPC部 B(17)
IPC大类 C01(13) B01(11) B82(9)
C23(3) H01(3) G01(2)
IPC小类 C01B(13) B01J(9) B82B(8)
B01D(3) B82Y(3) C23C(3)
H01L(3) G01N(2)
IPC C01B031/02(13) B82B003/00(7) B82B001/00(5)
B01J019/12(4) C01B031/04(4) B01J019/10(3)
B01J023/755(2) C23C016/06(2)
发明人 DOO K I(3) JEON S(3) JIN C S(3)
OH I K(3) HONG S(2) KIM H(2)
KIM H J(2) LEE B(2) OH I(2)
SEOK W J(2)
公开年 2013(10) 2014(5) 2012(2)
申请年 2012(17)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(17)