国家/地区 韩国(18) 世界知识产权组织(5) 美国(3)
IPC部 B(10) C(10) H(5)
G(3)
IPC大类 C01(10) B01(8) H01(5)
B82(4) C23(2) G01(2)
IPC小类 C01B(10) B01J(6) B82B(4)
H01L(4) B01D(3) B82Y(2)
C23C(2) G01N(2)
IPC C01B031/02(10) C01B031/04(4) B82B003/00(3)
B01J019/12(2) B82B001/00(2) C23C016/06(2)
发明人 JEON S(3) CHOI K C(2) HONG S(2)
HWANG J O(2) KIM B H(2) KIM S O(2)
KONG B S(2) LEE B(2) OH I(2)
OH I K(2) PARK C B(2) SONG S H(2)
公开年 2013(18)
申请年 2012(18)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(18)