国家/地区 韩国(25) 美国(14) 世界知识产权组织(5) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(18) C(17) H(17)
G(3)
IPC大类 H01(17) C01(16) B82(12)
B01(5) B32(5) C23(4)
C07(2) C08(2) G01(2)
IPC小类 C01B(16) H01L(13) B82Y(10)
H01B(6) B01J(5) B32B(5)
B82B(5) C23C(4)
IPC C01B031/02(11) B82Y040/00(8) C01B031/04(8)
B82Y030/00(6) B82B003/00(4) H01L021/336(4)
H01L029/16(4) B32B009/00(3) B82B001/00(3)
C23C016/26(3) H01L021/20(3) H01L029/78(3)
B32B009/04(2) B32B018/00(2) B82Y099/00(2)
发明人 CHOI J Y(6) AHN J(5) CHOI J(5)
WHANG D M(5) CHOI B L(4) LEE E K(4)
LEE J H(4) CHOI B(3) LEE E(3)
SHIN H J(3) WHANG D(3) AHN J H(2)
AHN J R(2) CUI P(2) HONG B H(2)
公开年 2013(17) 2012(5) 2014(3)
申请年 2012(25)
专利权人 UNIV SUNGKYUNKWAN RES BUSINESS FOUND(25)