国家/地区 | 美国(3) 日本(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/02(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 |
2012(4)![]() |
专利权人 |
YOSHII S, NOZAWA K, MATSUKAWA N
SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S