国家/地区 |
美国(8)![]() |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
B82(8)![]() |
IPC小类 |
B82Y(8)![]() |
IPC |
B82Y040/00(8)
B82Y030/00(7)
C30B029/02(7)
C01B031/04(6) C01B031/02(5) H01L021/02(4) C01B032/186(3) H01L029/16(3) C01B032/194(2) C23C016/26(2) C30B029/64(2) H01B001/04(2) |
发明人 | |
公开年 | 2012(3) 2013(3) 2014(2) |
申请年 |
2012(8)![]() |
专利权人 |
ZHAMU A, WANG M, XIONG W, JANG B Z
ARNOLD M S, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, YOSHIHIRO C, CHIBA G
DI Z, DING G, GONG Q, LIU Q, WANG H, WANG S, XIE X