国家/地区 美国(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 B82(8)
IPC小类 B82Y(8)
IPC B82Y040/00(8) B82Y030/00(7) C30B029/02(7)
C01B031/04(6) C01B031/02(5) H01L021/02(4)
C01B032/186(3) H01L029/16(3) C01B032/194(2)
C23C016/26(2) C30B029/64(2) H01B001/04(2)
发明人
公开年 2012(3) 2013(3) 2014(2)
申请年 2012(8)
专利权人