国家/地区 韩国(13) 美国(2)
IPC部 C(7) H(6) B(3)
IPC大类 H01(6) C01(3) C23(3)
B01(2) B82(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) H01L(3)
B01J(2) B82B(2) H01M(2)
IPC C01B031/02(3) B82B003/00(2) C23C016/44(2)
C23C016/455(2)
发明人 SEO T S(4) CHO B J(2) HA H D(2)
HAN D J(2) KIM D(2) MUN J H(2)
公开年 2014(13)
申请年 2013(13)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(13)