国家/地区 中国(4)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/02(2)
发明人 LI T(4)
公开年 2014(4)
申请年 2013(4)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)