| 国家/地区 | 中国(4) |
| IPC部 | C(3) H(2) |
| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | C01B031/04(2) H01L021/02(2) |
| 发明人 |
LI T(4)
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| 公开年 | 2014(4) |
| 申请年 |
2013(4)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)
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LI T, LIANG C, WANG W, WANG Y
