国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C30(4) H01(4) B32(2)
B82(2)
IPC小类 C30B(4)
IPC H01L021/02(4)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2013(4)
专利权人