国家/地区 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C30(4)
IPC小类 C30B(4)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(3)
C30B029/02(3) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2013(4)
专利权人