国家/地区 | 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C30(4)![]() |
IPC小类 |
C30B(4)![]() |
IPC |
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B031/04(3)
C30B029/02(3) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2013(4)![]() |
申请年 |
2013(4)![]() |
专利权人 |
CHEN J, GAJDARDZISKAJOSIFOVSKA M, HIRSCHMUGL C, MATTSON E, PU H, WEINERT M
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T